Alemany Server, Rubén(Universitat Politècnica de València, 2019-07-25)
En esta tesina fin de máster, se desarrollar procesos para oxidación de obleas de silicio y litografía y ataque de capas de nitruro de silicio. El estudiante realizará estos desarrollos dentro la instalación UPVfab sita ...
Muñoz Muñoz, Pascual; Mico-Cabanes, Gloria; Bru-Orgiles, Luis Alberto; Pastor Abellán, Daniel; Pérez-López, Daniel; Doménech Gómez, José David; Fernández, Juan; Baños López, Rocío; Gargallo-Jaquotot, Bernardo; Alemany Server, Rubén; Sanchez, Ana M.; Cirera, Josep Maria; Mas, Roser; Domínguez-Horna, Carlos(MDPI AG, 2017)
[EN] Silicon nitride photonics is on the rise owing to the broadband nature of the material,
allowing applications of biophotonics, tele/datacom, optical signal processing and sensing,
from visible, through near to ...
[EN] In this paper, we present a systematic design for manufacturing analysis for thermo-optic phase tuners, framed within the process modules available on a silicon nitride platform. Departing from an established technology ...