Este libro es una traducción del original publicado en inglés por IWA pero con la novedad de que se ha adaptado en dos partes que facilitan su aplicación.El mayor cambio se encuentra en la primera parte de este manual, que ...
[EN] The aim of this study is to investigate and to optimize an existing microwave-powered
remote plasma source (RPS) with respect to the etching rate and gas temperature and to
simplify the setup to save production ...