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Admin. UPV

Listar por palabra clave "Nitruro de silicio"

Mostrando ítems 1-8 de 8

Cualificación de procesos de deposición de nitruro de silicio mediante elipsometría espectrométrica

Fernández Hernández, Adrián (Universitat Politècnica de València, 2021-10-11)

[ES] En este proyecto se aborda la cualificación de procesos de fabricación de capas de nitruo de silicio, sobre obleas de semiconductor, empleando la técnica "Low Pressure Vapor Deposition (LPCVD)". Dicha cualificación ...
Demonstration of ultra-low-loss electro-optical switches in silicon nitride technology

Ribera Vicent, Miguel (Universitat Politècnica de València, 2022-10-04)

[ES] El objetivo del trabajo fin de máster es la demostración experimental y análisis de prestaciones de conmutadores electroópticos integrados en tecnología de nitruro de silicio. La tecnología de nitruro de silicio elegida ...
Desarrollo de estructuras interferométricas bimodales de cristal fotónico en nitruro de silicio para aplicaciones de sensado

Llorente Cerezuela, Pablo (Universitat Politècnica de València, 2022-10-14)

[ES] La tecnología fotónica es una de las que mayor interés despierta en el campo del desarrollo de dispositivos de sensado, ya que haciendo uso de la interacción de la luz con las sustancias a detectar es posible alcanzar ...
Desarrollo de procesos de micro-fabricación en Sílice y Nitruro de Silicio

Alemany Server, Rubén (Universitat Politècnica de València, 2019-07-25)

En esta tesina fin de máster, se desarrollar procesos para oxidación de obleas de silicio y litografía y ataque de capas de nitruro de silicio. El estudiante realizará estos desarrollos dentro la instalación UPVfab sita ...
Microoptomechanical silicon nitride photonic inclinometer

Fernández Gámez, Arturo (Universitat Politècnica de València, 2022-10-04)

[ES] Siguiendo los pasos de la microelectrónica, la fotónica integrada está empezando a incluir sistemas micro-opto-electro-mecánicos (MOEM) para la creación de dispositivos sintonizables o programables y sensores. La ...
Optical Frequency Domain Interferometry for the Characterization and Development of Complex and Tunable Photonic Integrated Circuits

Bru Orgiles, Luis Alberto (Universitat Politècnica de València, 2022-03-28)

[ES] Esta tesis aborda la caracterización de circuitos fotónicos integrados (PIC) usando interferometría óptica en el domino de las frecuencias (OFDI). OFDI tiene una implementación razonablemente simple e interroga al ...
Optimización de biosensores nanofotónicos basados en resonadores de anillo en guías de nitruro de silicio para aplicaciones lab-on-chip

Castelló Pedrero, Lucía (Universitat Politècnica de València, 2021-07-26)

[ES] Actualmente, el Instituto Universitario de Tecnología Nanofotónica (NTC) y la spin-off Lumensia Sensors participan en el proyecto europeo SaPher, donde se pretende desarrollar y comercializar una plataforma de sensado ...
Reconfigurable Reflective Arrayed Waveguide Grating on Silicon Nitride

Fernández Vicente, Juan (Universitat Politècnica de València, 2021-04-29)

[ES] La presente tesis se ha centrado en el modelado, diseño y demonstración experimental por primera vez del dispositivo Reconfigurable Reflective Arrayed Waveguide Grating (R-RAWG). Para la consecución de este dispositivo ...