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Desarrollo y cualificación de procesos de nanofabricación: fotolitografía y etching

Gómez Martí, Jose María (Universitat Politècnica de València, 2022-10-04)

[ES] La investigación y el desarrollo tecnológico realizado en las últimas décadas ha permitido que actualmente se puedan fabricar estructuras de tamaño microscópico conocidas con en nombre de ¿microestructuras¿. La capacidad ...
Evolutionary continuous cellular automaton for the simulation of wet etching of quartz

Ferrando Jódar, Néstor; Gosalvez Ayuso, Miguel Angel; Colom Palero, Ricardo José (IOP Publishing: Hybrid Open Access, 2012-02)

Anisotropic wet chemical etching of quartz is a bulk micromachining process for the fabrication of micro-electro-mechanical systems (MEMS), such as resonators and temperature sensors. Despite the success of the continuous ...
Implementación del método Level Set para la simulación del proceso químico de atacado anisótropo húmedo aplicado para la microfabricación

Montoliu Álvaro, Carles (Universitat Politècnica de València, 2013-02-06)

[ES] En el presente trabajo se ha implementado el método Level Set (LS) para poder ser aplicado para simular el proceso de atacado anisótropo húmedo utilizado para la fabricación de microestructuras. En la actualidad para ...

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