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Modelling and Study of a Microwave Plasma Source for High-rate Etching | 186 |
mayo 2024 | junio 2024 | julio 2024 | agosto 2024 | septiembre 2024 | octubre 2024 | noviembre 2024 | |
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Modelling and Study of a Microwave Plasma Source for High-rate Etching | 1 | 2 | 3 | 9 | 2 | 2 | 0 |
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Pauly;Schulz;Walker - Modelling and Study of a Microwave Plasma Source for High-rate Etching.pdf | 427 |
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China | 32 |
Alemania | 17 |
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Taiwán | 6 |
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