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Estudio, Modelado e Implementación Paralela de Sistemas Celulares Utilizados en Microfabricación

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Estudio, Modelado e Implementación Paralela de Sistemas Celulares Utilizados en Microfabricación

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dc.contributor.advisor Cerdá Boluda, Joaquín es_ES
dc.contributor.advisor Gadea Gironés, Rafael es_ES
dc.contributor.author Ferrando Jódar, Néstor es_ES
dc.date.accessioned 2011-06-03T09:49:23Z
dc.date.available 2011-06-03T09:49:23Z
dc.date.created 2011-05-27T08:00:00Z es_ES
dc.date.issued 2011-06-03T09:49:04Z es_ES
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/10251/10984
dc.description.abstract La presente tesis toma como eje central el modelado de sistemas dinámicos mediante Autómatas Celulares (ACs). Los ACs permiten modelar un sistema enunciando el comportamiento microscópico a fin de obtener un comportamiento macroscópico correcto. Una de los principales campos donde esta metodología ha sido aplicada (y la cual forma otro de los puntos centrales de esta tesis) es el modelado del Grabado Anisótropo Húmedo (GAH). El GAH es un proceso químico el cual permite realizar microestructuras de silicio tridimensionales, lo que le ha permitido convertirse en una importante técnica de microfabricación. El GAH se utiliza para el micromaquinado de Sistemas Micro-Electro-Mecánicos (MEMS). Los MEMS consisten en la integración de elementos mecánicos, sensores, actuadores y electrónica en un substrato de silicio común a través de la tecnología de microfabricación. Los MEMS tienen una gran influencia en la industria puesto que dispositivos fabricados mediante esta tecnología se utilizan de forma intensiva en diversos campos tales como: sistemas de seguridad en automoción, sensores de movimiento en electrónica de consumo o inyectores en sistemas de impresión. El GAH es un proceso complejo cuyo resultado depende en gran medida de los diversos parámetros del proceso: (disolución, temperatura, tiempo), por lo que la utilización de un simulador previo a la realización del experimento puede suponer un gran ahorro en cuestión de tiempo y material. Los simuladores actuales de GAH basados en ACs poseen diversas limitaciones: Tiempos de computación muy elevados debido a los altos requisitos computacionales de los ACs, un reducido conjunto de calibraciones existentes, así como la imposibilidad de simular el GAH basado en nuevos atacantes tales como TMAH+Triton. La resolución de estas limitaciones es abordada en diversos capítulos de la tesis. es_ES
dc.language Español es_ES
dc.publisher Universitat Politècnica de València es_ES
dc.rights Reserva de todos los derechos es_ES
dc.source Riunet
dc.subject Mems es_ES
dc.subject Gpus es_ES
dc.subject Atacado anisótropo húmedo es_ES
dc.subject Autómatas celulares es_ES
dc.subject.classification TECNOLOGIA ELECTRONICA es_ES
dc.title Estudio, Modelado e Implementación Paralela de Sistemas Celulares Utilizados en Microfabricación
dc.type Tesis doctoral es_ES
dc.identifier.doi 10.4995/Thesis/10251/10984 es_ES
dc.rights.accessRights Abierto es_ES
dc.contributor.affiliation Universitat Politècnica de València. Departamento de Ingeniería Electrónica - Departament d'Enginyeria Electrònica es_ES
dc.description.bibliographicCitation Ferrando Jódar, N. (2011). Estudio, Modelado e Implementación Paralela de Sistemas Celulares Utilizados en Microfabricación [Tesis doctoral no publicada]. Universitat Politècnica de València. https://doi.org/10.4995/Thesis/10251/10984 es_ES
dc.description.accrualMethod Palancia es_ES
dc.type.version info:eu-repo/semantics/acceptedVersion es_ES
dc.relation.tesis 3543 es_ES


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