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Diseño de un nano-elipsómetro integrado en tecnología de silicio

RiuNet: Repositorio Institucional de la Universidad Politécnica de Valencia

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Diseño de un nano-elipsómetro integrado en tecnología de silicio

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Espinosa Soria, A. (2014). Diseño de un nano-elipsómetro integrado en tecnología de silicio. http://hdl.handle.net/10251/45827.

Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem: http://hdl.handle.net/10251/45827

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Metadatos del ítem

Título: Diseño de un nano-elipsómetro integrado en tecnología de silicio
Autor:
Director(es): Martínez Abietar, Alejandro José
Entidad UPV: Universitat Politècnica de València. Escuela Técnica Superior de Ingenieros de Telecomunicación - Escola Tècnica Superior d'Enginyers de Telecomunicació
Fecha difusión:
Fecha acto/lectura: 2014-07-15
Resumen:
En el presente Proyecto Final de Carrera se realizará el diseño de un prototipo de elipsómetro basado en tecnología de silicio. Se analizará la técnica conocida como elipsometría para poder adaptarla a las características ...[+]
Palabras clave: Elipsómetro, elipsometría, nanoantenas, silicio, nanofotónica
Derechos de uso: Cerrado
Titulación: Ingeniería en Telecomunicación-Enginyeria en Telecomunicació
Tipo: Proyecto/Trabajo fin de carrera/grado

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