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Diseño de un nano-elipsómetro integrado en tecnología de silicio

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Diseño de un nano-elipsómetro integrado en tecnología de silicio

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Espinosa Soria, A. (2014). Diseño de un nano-elipsómetro integrado en tecnología de silicio. http://hdl.handle.net/10251/45827.

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Title: Diseño de un nano-elipsómetro integrado en tecnología de silicio
Author: Espinosa Soria, Alba
Director(s): Martínez Abietar, Alejandro José
UPV Unit: Universitat Politècnica de València. Escuela Técnica Superior de Ingenieros de Telecomunicación - Escola Tècnica Superior d'Enginyers de Telecomunicació
Read date / Event date:
2014-07-15
Issued date:
Abstract:
En el presente Proyecto Final de Carrera se realizará el diseño de un prototipo de elipsómetro basado en tecnología de silicio. Se analizará la técnica conocida como elipsometría para poder adaptarla a las características ...[+]
Subjects: Elipsómetro, elipsometría, nanoantenas, silicio, nanofotónica
Copyrigths: Cerrado
Publisher:
Universitat Politècnica de València
degree: Ingeniería en Telecomunicación-Enginyeria en Telecomunicació
Type: Proyecto/Trabajo fin de carrera/grado

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