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Tecnología MEM. Diseño y simulación de un acelerómetro.

RiuNet: Repositorio Institucional de la Universidad Politécnica de Valencia

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Tecnología MEM. Diseño y simulación de un acelerómetro.

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García Gómez, S. (2015). Tecnología MEM. Diseño y simulación de un acelerómetro. http://hdl.handle.net/10251/52393.

Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem: http://hdl.handle.net/10251/52393

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Metadatos del ítem

Título: Tecnología MEM. Diseño y simulación de un acelerómetro.
Autor:
Director(es): Pascual Molto, Marcos
Entidad UPV: Universitat Politècnica de València. Escuela Politécnica Superior de Alcoy - Escola Politècnica Superior d'Alcoi
Universitat Politècnica de València. Departamento de Ingeniería Electrónica - Departament d'Enginyeria Electrònica
Fecha difusión:
Fecha acto/lectura: 2015-06-12
Resumen:
[ES] Este proyecto presenta la tecnología MEMS (sistemas micro-electromecánicos) y, como ejemplo, el diseño y simulación de un acelerómetro. El trabajo se divide en cinco secciones principales: En primer lugar una breve ...[+]
Palabras clave: MEMS (sistemas micro-electromecánicos) , Sensor capacitivo , Oxidación , Ataque químico-grabado , Fotolitografía , Tecnología CMOS , Acelerómetro
Derechos de uso: Cerrado
Titulación: Grado en Ingeniería Eléctrica-Grau en Enginyeria Elèctrica
Tipo: Proyecto/Trabajo fin de carrera/grado

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