Medida de distancias absolutas de muy alta precisión por interferometría láser

Abstract

En este Trabajo Final de Máster (TFM) se ha realizado una caracterización y evaluación del sistema de medida de distancias absolutas mediante inteferometría heterodina. Se ha observado a aparición de efecto Speckle cuando muestras rugosas o inclinadas son utilizadas. El efecto Speckle es un efecto que empeora la precisión del sistema de medida añadiendo fluctuaciones en la fase inteferométrica del haz coherente utilizado. Con el fin de mitigar dicho efecto se ha añadido un conjunto de 4 detectores al sistema. Con este sistema se obtienen mejoras en la resolución de la medida de hasta el 60% para ángulos inferiores a 40º respecto al eje óptico; sin embargo, la mitigación del efecto Speckle no obtiene buenos resultados para muestras inclinadas 45º.