Análisis y caracterización de guías corrugadas de onda lenta para aplicaciones de modulación electro-óptica en silicio

Abstract

[ES] El objetivo de este trabajo es demostrar experimentalmente el funcionamiento pasivo de estructuras de onda lenta. Se han caracterizado guías corrugadas en obleas SOI con el fin de validar sus características de onda lenta teóricamente alcanzables, de las cuales se espera que mejoren el funcionamiento de un modulador MZI

[EN] The objective of this report is to demonstrate the passive performance of the slow-wave structures. Corrugated waveguides are characterized on SOI wafer in order to validate their theoretically achievable slow wave features, expected to improve the performance of a MZI modulator.