Diseño y caracterización de calentadores basados en óxido de indio y estaño para circuitos en fotónica de silicio

Abstract

El objetivo del TFM es el analisis, diseño y caracterización experimental de calentadores basados en óxido de indio y estaño para sintonizar, mediante el efecto termo-óptico, la respuesta de dispositivos basados en la tecnología fotónica de silicio. La principal ventaja es una reducción del consumo de potencia frente a los calentadores tradicionales basados en metales. Las estructuras diseñadas serán fabricadas en las instalaciones del Centro de Tecnología de Nanofotónica.

Indium tin oxide (ITO) heaters are designed, fabricated and experimentally characterized for tuning silicon photonic structures by means of the thermo-optic effect in silicon. The intrinsic properties of lower optical losses and higher resistivity compared to some metals, like aluminium (Al) an titanium (Ti), allows to significantly improving the electrical power consumption of the heater. Therefore, an around three times reduction of power consumption with respect to AlCu based heaters and a drastic reduction of the optical losses compared to Ti heaters is demonstrated for both TE and TM polarization operation in silicon photonic circuits.