Alemany Server, R. (2018). Desarrollo de procesos de micro-fabricación en Sílice y Nitruro de Silicio. http://hdl.handle.net/10251/124196
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Title: | Desarrollo de procesos de micro-fabricación en Sílice y Nitruro de Silicio | |||
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En esta tesina fin de máster, se desarrollar procesos para oxidación de obleas de silicio y litografía y ataque de capas de nitruro de silicio. El estudiante realizará estos desarrollos dentro la instalación UPVfab sita ...[+]
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Copyrigths: | Reserva de todos los derechos | |||
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