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Desarrollo de procesos de micro-fabricación en Sílice y Nitruro de Silicio

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Desarrollo de procesos de micro-fabricación en Sílice y Nitruro de Silicio

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Alemany Server, R. (2018). Desarrollo de procesos de micro-fabricación en Sílice y Nitruro de Silicio. http://hdl.handle.net/10251/124196

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Title: Desarrollo de procesos de micro-fabricación en Sílice y Nitruro de Silicio
Author:
Director(s): Muñoz Muñoz, Pascual
UPV Unit: Universitat Politècnica de València. Departamento de Comunicaciones - Departament de Comunicacions
Universitat Politècnica de València. Escuela Técnica Superior de Ingenieros de Telecomunicación - Escola Tècnica Superior d'Enginyers de Telecomunicació
Read date / Event date:
2018-09-21
Issued date:
Abstract:
En esta tesina fin de máster, se desarrollar procesos para oxidación de obleas de silicio y litografía y ataque de capas de nitruro de silicio. El estudiante realizará estos desarrollos dentro la instalación UPVfab sita ...[+]
Subjects: Silicio , Óxido de silicio , Nitruro de silicio , Micro-fabricación , Oxidación , Litografía , Ataque , Silicon , Silicon oxide , Silicon ntirde , Sicro-fabrication , Oxidation , Lithography , Etching
Copyrigths: Reserva de todos los derechos
degree: Máster Universitario en Tecnologías, Sistemas y Redes de Comunicaciones-Màster Universitari en Tecnologies, Sistemes i Xarxes de Comunicacions
Type: Tesis de máster

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