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Desarrollo de procesos de micro-fabricación en Sílice y Nitruro de Silicio

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Desarrollo de procesos de micro-fabricación en Sílice y Nitruro de Silicio

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Alemany Server, R. (2018). Desarrollo de procesos de micro-fabricación en Sílice y Nitruro de Silicio. http://hdl.handle.net/10251/124196

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Nombre: Alemany - Desarrollo ...
Tamaño: 2.126Mb
Formato: PDF
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Metadatos del ítem

Título: Desarrollo de procesos de micro-fabricación en Sílice y Nitruro de Silicio
Autor: Alemany Server, Rubén
Director(es): Muñoz Muñoz, Pascual
Entidad UPV: Universitat Politècnica de València. Departamento de Comunicaciones - Departament de Comunicacions
Universitat Politècnica de València. Escuela Técnica Superior de Ingenieros de Telecomunicación - Escola Tècnica Superior d'Enginyers de Telecomunicació
Fecha acto/lectura:
2018-09-21
 Fecha difusión:
Resumen:
En esta tesina fin de máster, se desarrollar procesos para oxidación de obleas de silicio y litografía y ataque de capas de nitruro de silicio. El estudiante realizará estos desarrollos dentro la instalación UPVfab sita ...[+]
Palabras clave: Silicio , Óxido de silicio , Nitruro de silicio , Micro-fabricación , Oxidación , Litografía , Ataque , Silicon , Silicon oxide , Silicon ntirde , Sicro-fabrication , Oxidation , Lithography , Etching
Derechos de uso: Reserva de todos los derechos
Editorial:
Universitat Politècnica de València
Titulación: Máster Universitario en Tecnologías, Sistemas y Redes de Comunicaciones-Màster Universitari en Tecnologies, Sistemes i Xarxes de Comunicacions
Tipo: Tesis de máster

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