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Gas Transport Optimization for Atomic Layer Deposition Processes (ALD)

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Gas Transport Optimization for Atomic Layer Deposition Processes (ALD)

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Molina Casino, S. (2021). Gas Transport Optimization for Atomic Layer Deposition Processes (ALD). Universitat Politècnica de València. http://hdl.handle.net/10251/175532

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Title: Gas Transport Optimization for Atomic Layer Deposition Processes (ALD)
Secondary Title: Optimización del Flujo en Procesos de Deposición de Capas Atómicas (Atomic Layer Deposition, ALD)
Author: Molina Casino, Samuel
Director(s): Vila Pastor, Carlos Persson, Anton
UPV Unit: Universitat Politècnica de València. Departamento de Ingeniería Mecánica y de Materiales - Departament d'Enginyeria Mecànica i de Materials
Universitat Politècnica de València. Escuela Técnica Superior de Ingeniería del Diseño - Escola Tècnica Superior d'Enginyeria del Disseny
Read date / Event date:
2021-09-24
Issued date:
Abstract:
[ES] El proyecto se centra en la optimización del flujo en procesos ALD. Para ello se pretenden mejorar tanto el tiempo de un ciclo completo como la uniformidad de la capa depositada. El método de optimización se desarrollará ...[+]


[EN] This Master’s Thesis proposes an optimization method for Atomic Layer Deposition (ALD) reactors. ALD is a manufacturing process that consists of the creation of thin layers of material over a surface (substrate) by ...[+]
Subjects: CFD , Computational Fluid Dynamics , Optimización , Atomic Layer Deposition , ALD , Response Surface Method , Sequential Quadratic Programming
Copyrigths: Cerrado
Publisher:
Universitat Politècnica de València
degree: Máster Universitario en Ingeniería Aeronáutica-Màster Universitari en Enginyeria Aeronàutica
Type: Tesis de máster

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