Instalación, puesta en marcha, uso de sistema combinado de generador ICP multipropósito y RF sputter y diseño de testeo de dispositivo de sensado

Abstract

[ES] El Trabajo de Fin de Máster a proponer trata sobre la descripción, instalación, puesta en marcha y uso de un equipo dedicado a la deposición de capas delgadas de escalas micro y nanométricas mediante las técnicas de deposición CVD (Chemical Vapour Deposition) de ICP y sputter de radiofrecuencia, el cual forma parte del proyecto de ampliación de sala limpia del centro NTC (Nanophotonics Technology Center) de la UPV. Tras lo mencionado se empleará como testeo del sistema el uso del mismo como parte del proceso de fabricación de un dispositivo de sensado basado en plasmódica cuyo propósito es la detección y clasificación de virus respiratorios.

La realización del TFM implicará la realización de las siguientes tareas fundamentales:

Tarea 1: Introducción teórica a las técnicas de deposición delgada. Tarea 2: Introducción a la fotónica y su relación con el equipo. Tarea 3: Explicación de las características de una sala limpia y del entorno de trabajo. Tarea 4: Descripción técnica del sistema de generador ICP y sputtering RF. Tarea 5: Memoria de los pasos de instalación del equipo y puesta en marcha. Tarea 6: Iniciación / Modo de trabajo del equipo Tarea 7: Fabricación de dispositivos de sensado. Tarea 8: Caracterización de los dispositivos de sensado mediante técnica de FTIR. Tarea 9: Planning temporal / Presupuesto. Tarea 10: Conclusiones / Líneas futuras.

[EN] The proposed Master's Thesis deals with the description, installation, commissioning and use of an equipment dedicated to the deposition of thin layers of micro and nanometric scales using CVD (Chemical Vapour Deposition) deposition techniques of ICP and radiofrequency sputtering, which is part of the clean room extension project of the NTC (Nanophotonics Technology Center) of the UPV. Following this, the system will be tested as part of the manufacturing process of a plasmonic-based sensing device for the detection and classification of respiratory viruses.