Tecnología MEM. Diseño y simulación de un acelerómetro

Abstract

[ES] Este proyecto presenta la tecnología MEMS (sistemas micro-electromecánicos) y, como ejemplo, el diseño y simulación de un acelerómetro. El trabajo se divide en cinco secciones principales: En primer lugar una breve introducción de la historia de las microtecnologías extendiéndose en las MEMS, sus definiciones, la historia, las aplicaciones actuales y potenciales, así como la situación del mercado de MEMS y cuestiones relativas a la miniaturización. La tercera sección se ocupa de los métodos de fabricación de MEMS. El ensamblaje, la integración del sistema y el embalaje de los dispositivos MEMS también se describen aquí. La cuarta sección presenta una visión general de los productos de MEMS. En la última sección se desarrolla el ejemplo de un acelerómetro diseñado con la tecnología CMOS-MEMS, en el cual se resume el proceso del diseño mecánico y eléctrico. También se simula el sistema obteniendo los resultados y se debate si son correctos los problemas de ruido, el diseño del sensor...