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Implementation and evaluation of the Level Set method: towards efficient and accurate simulation of wet etching for microengineering applications

RiuNet: Repositorio Institucional de la Universidad Politécnica de Valencia

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Implementation and evaluation of the Level Set method: towards efficient and accurate simulation of wet etching for microengineering applications

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Montoliu Álvaro, C.; Ferrando Jódar, N.; Gosalvez, MA.; Cerdá Boluda, J.; Colom Palero, RJ. (2013). Implementation and evaluation of the Level Set method: towards efficient and accurate simulation of wet etching for microengineering applications. Computer Physics Communications. 184(10):2299-2309. doi:10.1016/j.cpc.2013.05.016.

Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem: http://hdl.handle.net/10251/53148

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Título: Implementation and evaluation of the Level Set method: towards efficient and accurate simulation of wet etching for microengineering applications
Autor:
Entidad UPV: Universitat Politècnica de València. Instituto de Instrumentación para Imagen Molecular - Institut d'Instrumentació per a Imatge Molecular
Universitat Politècnica de València. Departamento de Ingeniería Electrónica - Departament d'Enginyeria Electrònica
Fecha difusión:
Resumen:
The use of atomistic methods, such as the Continuous Cellular Automaton (CCA), is currently regarded as a computationally efficient and experimentally accurate approach for the simulation of anisotropic etching of various ...[+]
Palabras clave: Level Set method , Sparse Field Method , Anisotropic wet chemical etching , Microengineering , Cellular Automata , MEMS , Parallel computing , GPU
Derechos de uso: Reserva de todos los derechos
Fuente:
Computer Physics Communications. (issn: 0010-4655 ) (eissn: 1879-2944 )
DOI: 10.1016/j.cpc.2013.05.016
Editorial:
Elsevier
Versión del editor: http://dx.doi.org/10.1016/j.cpc.2013.05.016
Patrocinador:
Spanish FPI-MICINN BES-2011-045940
Spanish Ministry of Science and Innovation, Ramón y Cajal Fellowship Program
Junta para la Ampliación de Estudios JAE-Doc
FSE
NVIDIA Corporation, Professor Partnership Program
Tipo: Artículo

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