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Cost-effective SU-8 micro-structures by DUV excimer laser lithography for label-free biosensing 336

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Cost-effective SU-8 micro-structures by DUV excimer laser lithography for label-free biosensing 0 1 1 10 3 2 1

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F.J. Sanza;MARI FE LAGUNA;CASQUEL - Cost-effective SU-8 micro-structures by DUV excimer laser lit....pdf 5

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