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Experimental procurement of the complete 3D etch rate distribution of Si in anisotropic etchants based on vertically micromachined wagon wheel samples | 168 |
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Experimental procurement of the complete 3D etch rate distribution of Si in anisotropic etchants based on vertically micromachined wagon wheel samples | 0 | 0 | 0 | 0 | 2 | 4 | 0 |
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MIGUEL ANGEL GOSALVEZ AYUSO;Pal;Ferrando - Experimental procurement of the complete 3D etch rate ....pdf | 1 |
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Estados Unidos | 104 |
Francia | 15 |
China | 14 |
Alemania | 11 |
Suecia | 9 |
España | 5 |
Irlanda | 3 |
Eslovenia | 2 |
Canadá | 1 |
Finlandia | 1 |
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Ashburn | 51 |
Louisville | 8 |
Houston | 7 |
Boardman | 5 |
San Mateo | 5 |
Villeurbanne | 4 |
Alameda | 3 |
Beijing | 3 |
Dublin | 3 |
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